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兩級串聯(lián)真空泵工作原理

點(diǎn)擊次數(shù):   更新時間:24/05/16 11:10:05     來源:www.odquijz.cn關(guān)閉
  兩級串聯(lián)真空泵是一種常用的真空設(shè)備,其工作原理主要涉及兩個級別的真空泵的協(xié)同作用。真空泵通過旋轉(zhuǎn)葉片或離心力將氣體抽入泵腔,并通過離心力將氣體排出。這個過程可以有效地降低氣體的壓力,但是由于其限制,無法將氣體抽得非常稀薄。接下來,進(jìn)一步降低氣體壓力,使得氣體更加稀薄。

  兩級串聯(lián)真空泵的工作原理可以類比為爬山過程。它能夠?qū)怏w壓力降低到一個較低的程度,但無法達(dá)到目標(biāo)通過進(jìn)一步降低氣體壓力,達(dá)到所需的真空度。兩個級別的真空泵相互協(xié)作,使得氣體能夠被有效地抽出,從而實(shí)現(xiàn)了更高的真空度。

兩級串聯(lián)真空泵

  在實(shí)際應(yīng)用中,兩級串聯(lián)真空泵常用于需要較高真空度的工藝,如半導(dǎo)體制造、電子設(shè)備制造等。通過兩個級別的真空泵的協(xié)同作用,可以有效地將氣體抽出,保證工藝的正常進(jìn)行。
  綜上所述,兩級串聯(lián)真空泵是一種通過兩個級別真空泵的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)更高真空度的設(shè)備。其工作原理類似于爬山過程,通過兩個階段的抽氣作用,將氣體壓力降低到所需的程度。這種真空泵在多個行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用,并且具有體積小、運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
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